找出2007年專為工業(yè)應(yīng)用設(shè)計的創(chuàng)新產(chǎn)品并不是難事。盡管如此，ANALOGDEVICES的ADIS16209雙模測斜儀和OmronElectronicComponents的D6F-P流速傳感器這兩個基于MEMS的器件仍然略勝一籌。 了解傾度 測斜儀也叫傾斜傳感器，是一個可進行高精確度測量的高度集成、可編程的雙軸器件。它非常適合用于需要測量傾度變化的工業(yè)應(yīng)用，包括測量設(shè)備、工廠機械工具、衛(wèi)星天線穩(wěn)定性系統(tǒng)以及汽車車輪調(diào)準。 其輸出為完全補償?shù)闹苯菧y量，并且線性傾度誤差不到0.1°，比同類競爭傾斜傳感器至少精確兩倍（圖1）。這是由于其嵌入式控制器的原因，該控制器采用工廠安裝的校準系數(shù)，動態(tài)地感應(yīng)系統(tǒng)環(huán)境并補償直接數(shù)字角輸出，從而將電壓、溫度、角度和其它變量的變化計算在內(nèi)。 “大多數(shù)工業(yè)客戶都沒有校準慣性傳感器所需的裝置。他們需要一個經(jīng)過完全校準和測試的器件，”AnalogDevices公司iSensor業(yè)務(wù)開發(fā)經(jīng)理BobScannell表示，“他們知道他們將從這個器件獲得一定級別的精確度。通過保證測斜儀的極高精確度，我們從本質(zhì)上降低了這個客戶群體的使用障礙。” 盡管尺寸總是無關(guān)緊要，但是ADIS16209的尺寸極小，為9.2×9.2×3.9mm，比功能相同的測斜儀小100倍左右。該器件基于公司的iMEMS內(nèi)核，在水平安裝時可以測量±30°范圍的雙軸傾斜。由于其獨特的雙模操作，它支持整個360°范圍的垂直安裝單軸實現(xiàn)。 可調(diào)諧數(shù)字傳感器數(shù)據(jù)通過工業(yè)標準串行外設(shè)接口（SPI）端口輸出，該端口能以0.025°的精度測得傾度，以0.244mg的精度測得加速度。其千片批量單價為34.40美

mems傳感器一般是把敏感單元和信號處理電路集成在一個芯片上。這樣，傳感器不僅能夠感知被測參數(shù)，將其轉(zhuǎn)換成方便度量的信號，而且能對所得到的信號進行分析、處理和識別、判斷，因此被稱為智能傳感器。mems傳感器的主要優(yōu)點有以下幾點。 a．可提高信噪比。在同一個芯片上進行信號傳輸前可放大信號以提高信號水平，減小干擾和傳輸?shù)脑肼暎貏e是同一芯片上進行A/D轉(zhuǎn)換時，更能改善信噪比。 b．可改善傳感器性能。因這種傳感器集成了敏感元件、放大電路和補償電路（如微型壓力傳感器），在同一芯片上在實現(xiàn)傳感探測的同時具有信號處理的功能（在同一芯片上的反饋電路可改善輸出的線性度和頻響特性）：因為集成了補償電路，可降低由溫度或由應(yīng)變等因素引起的誤差；在同一芯片上的電壓式電流源可提供自動的或周期性的自校準和自診斷。 。，輸出信號的調(diào)節(jié)功能。集成在芯片上的電路可以在信號傳輸前預(yù)先完成A/D轉(zhuǎn)換、阻抗匹配、輸出信號格式化以及信號平均等信號調(diào)節(jié)和處理工作。 d．mems傳感器還可以把多個相同XC2C32-4PC44C的敏感元件集成在同一芯片上形成傳感器陣列（如微型觸覺傳感器）；或把不同的敏感元件集成在同一芯片上實現(xiàn)多功能傳感（如微型氣敏傳感器）。 e．由于mems傳感器體積微小，重量極輕，因此其附加質(zhì)量等因素對被測系統(tǒng)的影響可似忽略不計，可提高測量精度。 mems傳感器種類繁多，可用來測量的參量很多，主要可分為以下幾類。 a．壓力傳感器：通常有測量絕對壓力的傳感器和計量壓力的傳感器。 b．熱學(xué)傳感器：溫度、熱量和熱流傳感器。 c．力學(xué)傳感器：力、壓強、速度、加速度和位置傳感器。 d．化學(xué)傳感器：化學(xué)濃度、化學(xué)成分

電容式傳感器工作原理 電容式傳感器分單電容式和差分電容式二種。如圖1所示。 圖1 單電容式和差分電容式傳感器 (a) 單電容傳感器 (b) 差分電容傳感器 圖1(a)為兩平行板組成的電容器，圖1(b)為兩平行板中間插入極板組成的差分電容傳感。對圖1(a)而言，當(dāng)忽略電容器的邊界效應(yīng)時： 電容器的電容量為： 式中A為電容器的極板面積，d為極板的距離，er、e0為介電常數(shù)。 電容傳感器中的變間隙式電容傳感器的C-d特性如圖2所示。 圖2 變間隙式電容傳感器的C-d特性曲線圖 單電容傳感器的一個極板固定，稱為靜極板，另一極板與被測物體連接為動極板。差分電容傳感器的上下極板均固定，稱為靜極板，中間極板為動極板。當(dāng)被測物體移動時動極板跟隨移動，就改變了極板間的電容量C，可知C-d特性是一條曲線： 當(dāng)d0減小Dd時，且Δd< d0 (1) 由(1)式可得： ( 2 ) 當(dāng)Dd/d0

盡管2009年全球經(jīng)歷了空前的經(jīng)濟危機，但是MEMS市場并未受到影響，市場規(guī)模幾乎與2008持平，出貨量與2008年同期相比大約增長了10%。這些數(shù)據(jù)表明，MEMS在消費ic37的滲透率正在不斷提高。iSuppli最新一份市場研究報告顯示，2010年及以后的MEMS市場前景光明，預(yù)計2010年MEMS市場將重新恢復(fù)兩位數(shù)的增幅，而2009-2013期間的總年復(fù)合增長率更是會達到12.2%。 事實上，mems傳感器是消費電子實現(xiàn)創(chuàng)新應(yīng)用不可或缺的關(guān)鍵元器件。近年來，從游戲機到手機，從筆記本電腦到白色家電，很多消費電子產(chǎn)品都利用低g加速計實現(xiàn)了運動控制的用戶界面和增強型保護系統(tǒng)?，F(xiàn)在，該輪到MEMS陀螺儀和地磁感應(yīng)計發(fā)揮作用，推動新一波令人興奮的創(chuàng)新應(yīng)用高速增長。 有關(guān)能夠測量線性加速度的MEMS加速計的技術(shù)文章已經(jīng)很多，因此，本文基本不涉及加速傳感器，而是將更多筆墨留給陀螺儀、地磁感應(yīng)計等具有多個自由度檢測功能的元器件。 MEMS陀螺儀 陀螺儀能夠測量沿一個軸或幾個軸運動的角速度，是補充MEMS加速計功能的理想技術(shù)。事實上，如果組合使用加速計和陀螺儀這兩種傳感器，系統(tǒng)設(shè)計人員就可以跟蹤并捕捉三維空間的完整運動，為最終用戶提供現(xiàn)場感更強的用戶使用體驗、精確的導(dǎo)航系統(tǒng)以及其它功能。 ST在MEMS市場的份額正在快速增長。作為全球公認的消費電子和手機市場最大的mems傳感器供應(yīng)商，ST最近推出了30款以低功耗和小封裝為特色的高性能陀螺儀。 ST陀螺儀的核心元件是一個微加工機械單元，在設(shè)計上按照一個音叉機制運轉(zhuǎn)，利用科里奧利原理把角速率轉(zhuǎn)換成一個特定感應(yīng)結(jié)構(gòu)的位移。我們以一個單軸Z軸陀螺

MEMS即微機電系統(tǒng)，是利用微米級立體結(jié)構(gòu)實現(xiàn)感應(yīng)和執(zhí)行功能的一項關(guān)鍵技術(shù)。其中，微米級立體結(jié)構(gòu)是利用被稱為“微加工”的特殊工藝實現(xiàn)的微米大小的立體機械結(jié)構(gòu)。 因為技術(shù)和經(jīng)濟的原因，mems傳感器曾經(jīng)被局限在汽車市場和工業(yè)應(yīng)用領(lǐng)域；今天，隨著mems傳感器越來越小，價格越來越低，能效越來越高，設(shè)計和應(yīng)用空間不斷擴大，它在消費類應(yīng)用市場的普及率正在不斷提高。 制造這些器件所采用的微加工技術(shù)與制造基本集成電路所采用的工序和工藝大同小異，只不過微加工的產(chǎn)品通常是一個能夠活動的立體的機械結(jié)構(gòu)(如圖1)。 雖然制造MEMS產(chǎn)品可以使用多種不同的材料，但是硅越來越受到業(yè)界的歡迎，因為硅的電氣、機械和熱屬性都非常出色。此外，半導(dǎo)體廠商還意識到，如果使用成熟的芯片量產(chǎn)制造技術(shù)，在晶片上一次可以制造數(shù)以萬計的MEMS器件。這就是說，MEMS可以利用微電子器件現(xiàn)有的規(guī)模經(jīng)濟，獲得更大的成本優(yōu)勢，特別是在進軍消費類產(chǎn)品市場時，利用好這個優(yōu)勢更加重要。因此，以硅為MEMS材料的吸引力最大。 過去，在沒有這項技術(shù)之前，有很多應(yīng)用是不可能的；今天，這項技術(shù)正在將這些應(yīng)用變?yōu)榭赡堋?手提電腦、手機、便攜媒體播放器和移動終端設(shè)備內(nèi)的硬盤驅(qū)動器墜落保護功能，是MEMS運動傳感器在消費ic37的具有重要歷史意義的代表性應(yīng)用之一。 在手提電腦內(nèi)的三軸加速計可以監(jiān)測加速度，因為具有特定的功能和數(shù)據(jù)處理電路，它能夠檢測到硬盤驅(qū)動器的意外摔落事故，并及時命令讀寫頭縮回到安全位置，以防電腦最終摔落在地板上時損壞讀寫頭。 健身和健康監(jiān)測是mems傳感器的另一類具有代表性的應(yīng)用。 計步表或計步器是利用三軸mems傳感器實現(xiàn)健身

傳感器是能感受規(guī)定的被測量，并能按照一定的規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號的器件或裝置。傳感器作為現(xiàn)代科技的前沿技術(shù)，被認為是現(xiàn)代信息技術(shù)的三大支柱之一。有市場報告顯示，預(yù)計2010年全球傳感器市場可達600億美元以上。我國傳感器市場的增長率超過15，預(yù)計2009年為430億元。MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)是微機電系統(tǒng)的縮寫，MEMS技術(shù)建立在微米/納米基礎(chǔ)上，是對微米/納米材料進行設(shè)計、加工、制造、測量和控制的技術(shù)，完整的MEMS是由微傳感器、微執(zhí)行器、信號處理和控制電路、通訊接口和電源等部件組成的一體化的微型器件系統(tǒng)。mems傳感器能夠?qū)⑿畔⒌墨@取、處理和執(zhí)行集成在一起，組成具有多功能的微型系統(tǒng)，從而大幅度地提高系統(tǒng)的自動化、智能化和可靠性水平。它還能夠使得制造商能將一件產(chǎn)品的所有功能集成到單個芯片上，從而降低成本，適用于大規(guī)模生產(chǎn)。mems傳感器目前主要應(yīng)用在汽車和消費電子兩大領(lǐng)域。任天堂公司的Wii無線游戲機允許使用者通過運動和點擊互相溝通和在屏幕上處理一些需求，其原理是將運動（例如揮舞胳膊模仿網(wǎng)球球拍的運動）轉(zhuǎn)化為屏幕上的游戲行為。在2006年5月，任天堂和ADI宣布將ADI的ADXL330 iMEMS加速度計整合到任天堂的Wii游戲控制臺中。加速度計幫助任天堂把視頻游戲提升到一個新的水平。在蘋果公司的iPhone中，通過對旋轉(zhuǎn)時運動的感知，iPhone可以自動地改變其顯示格式，以便消費者能夠以合適的水平和垂直視角看到完整的頁面或者數(shù)字圖片。根據(jù)ICInsight最新報告，預(yù)計在2007年至2012年間，全球基于MEMS的半導(dǎo)體傳

世界領(lǐng)先的微機電系統(tǒng)（MEMS）器件制造商意法半導(dǎo)體（紐約證券交易所代碼：STM)宣布，Movea有限公司旗下消費電子品牌、家電及辦公設(shè)備用運動傳感器行業(yè)的龍頭Gyration采用ST的三軸加速傳感器設(shè)計該公司的新式空中鼠標和音樂遙控器的運動控制功能。 Gyration的空中運動控制器可以把人手的自然運動立即轉(zhuǎn)換成顯示器屏幕上的動作，能夠?qū)θ耸衷谖恢煤头较蛏系淖兓龀鼍_的反應(yīng)。除采用ST的微機電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù)外，Gyration的新產(chǎn)品還采用ST的8位微控制器執(zhí)行計算任務(wù)和系統(tǒng)管理功能。 ST的3D運動傳感器外形尺寸小，功耗非常低，有助于Gyration設(shè)計全新的易于用戶使用的尺寸和重量的遙控器產(chǎn)品，而且還可以延長電池使用壽命。堅固的設(shè)計提供了非常出色的防震性能，能夠抵抗高達10,000g的撞擊。 Gyration的新鼠標可以在距個人電腦100英尺的空中無線控制個人電腦，而無需放置鼠標桌面。因為能夠?qū)θ耸值倪\動做出精準可靠的反應(yīng)，新鼠標幾乎可以在任何地方，包括像在出租車或飛機上的狹窄空間內(nèi)，準確跟蹤定位人手的運動方向或位置。 Gyration的運動感應(yīng)式音樂遙控器帶有一個液晶顯示器，不用打開電視機或個人電腦的顯示器，就能控制家中所有的數(shù)字娛樂設(shè)備。動作控制和手勢命令技術(shù)讓消費者只要抖一下手腕就能瀏覽、選擇和播放媒體文件。 “通過在消費電子產(chǎn)品內(nèi)實現(xiàn)直觀的人機互動界面，MEMS動作傳感器讓用戶獲得了全新的使用體驗，”ST的MEMS產(chǎn)品部總經(jīng)理Benedetto Vigna表示，“通過與運動感應(yīng)控制器行業(yè)的領(lǐng)導(dǎo)者合作，ST的MEMS產(chǎn)品為消費者帶來了前所未有的操作簡易

美國模擬器件（ADI）發(fā)布了采用MEMS技術(shù)的運動檢測傳感器"ADIS16355"。組合使用了加速度傳感器和陀螺傳感器，可以檢測X/Y/Z三軸向的加速度及繞三軸的角速度、共6自由度的運動。目的是將原來面向防衛(wèi)·軍備及宇航的高精度運動分析及航路推測導(dǎo)航功能，以低成本方便地應(yīng)用于產(chǎn)業(yè)。以能夠?qū)π盘枔p失及每個終端的誤差進行補償，向業(yè)界對基于全球定位系統(tǒng)（GPS）的導(dǎo)航系統(tǒng)等產(chǎn)品積極宣傳推銷。 "ADIS16355"通過檢測加速度和角速度來推測航路。這樣，即使在GPS信號中斷時，終端也可以保持路線·路徑導(dǎo)航直到信號恢復(fù)。除導(dǎo)航用途之外，還可用于產(chǎn)業(yè)機器人、拍電影時使用的空中攝像機、假肢等需要高精度控制運動的機器。 通過在制造工序中進行綜合性校準，進一步增加了可編程的SPI接口。比如，有些產(chǎn)品不進行校準或者僅在室溫下校準，而"ADIS16355"則在整個工作溫度范圍內(nèi)進行校準。精度方面，偏置溫度穩(wěn)定性為0.005度/秒/℃，工作時偏置穩(wěn)定性為0.015度/秒。與市價在數(shù)百～數(shù)千美元的同類產(chǎn)品相比，比有些產(chǎn)品的精度要高50倍左右。 另外，可以省去嵌入機器之后利用多軸進行校準的復(fù)雜調(diào)整程序，而可直接嵌入系統(tǒng)。這樣，試驗成本可節(jié)省幾十萬美元，據(jù)推算開發(fā)周期最長可縮至12個月。 "ADIS16355"采用了自主MEMS技術(shù)"iMEMSMotionSignalProcessingTechnology"，將歸于高功能傳感器產(chǎn)品系列"iSensor"。ADI此前已經(jīng)銷售了3億個采用iMEMS技術(shù)的運動檢測傳感器。"ADIS16355"的樣品將于2007年7月開始供貨，預(yù)定07年9月開始量產(chǎn)。每1000

與因特網(wǎng)相似，全球定位系統(tǒng)(GPS)衛(wèi)星導(dǎo)航正成為人們?nèi)粘Ｉ罡鱾€方面都離不開的一項泛在技術(shù)。在生死危急關(guān)頭，GPS不僅可以使緊急救護車發(fā)現(xiàn)最快的響應(yīng)路線路徑；而且GPS可以使海上考古學(xué)家直奔研究船只目標搜尋船只殘?。淮送?，GPS還可以引導(dǎo)農(nóng)場主確定在哪里安置設(shè)備，從而確保其莊稼種植量達到最大。作為全球一流的高性能半導(dǎo)體供應(yīng)商，美國模擬器件公司（Analog Devices, Inc.）推出一種新的慣性傳感方案，該方案可以為卡車車隊、農(nóng)業(yè)裝備、商用飛機與小型飛機、艦艇、坦克以及其他依靠 GPS衛(wèi)星導(dǎo)航保持精確位置信息的交通工具中的GPS信號損失或感應(yīng)信號奇異性進行補償。 由于采用ADI公司的iMEMS®運動信號處理技術(shù)™, ADIS16355慣性測量裝置(IMU)允許工業(yè)設(shè)計人員首次在系統(tǒng)中使用高級運動分析與導(dǎo)航航跡推算功能，因為以前這個功能主要用于軍事、宇航以及其他高端應(yīng)用，而且其成本僅為軍事等高端應(yīng)用傳感器成本的1/10。 通過探測線性加速度與角運動的細微變化，ADIS16355提供航跡推算，允許車輛等交通工具保持航跡， 直到丟失的GPS信號得以恢復(fù)。除了導(dǎo)航，ADIS16355還可以用于高度敏感的機器人與其他運動控制設(shè)備，其慣性測量裝置有助于確保精確的動作可以準確地重復(fù)數(shù)千次。例如，ADIS16355可以使航空相機在拍攝運動畫面時保持穩(wěn)定，在工廠自動化中可以控制機器人的手臂，還可以確保假肢的穩(wěn)定性。 ADIS16355可以很容易地與工業(yè)系統(tǒng)設(shè)計融為一體，通過精確的運動分析與控制，提高系統(tǒng)性能，并使設(shè)計人員的研制時間縮短長達一年。新的慣性測量裝

意法半導(dǎo)體宣布Gyration采用ST的三軸加速傳感器設(shè)計該公司的新式空中鼠標和音樂遙控器的運動控制功能。 Gyration的空中運動控制器可以把人手的自然運動立即轉(zhuǎn)換成顯示器屏幕上的動作，能夠?qū)θ耸衷谖恢煤头较蛏系淖兓龀鼍_的反應(yīng)。除采用ST的微機電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)外，Gyration的新產(chǎn)品還采用ST的8位微控制器執(zhí)行計算任務(wù)和系統(tǒng)管理功能。 ST的3D運動傳感器外形尺寸小，功耗非常低，有助于Gyration設(shè)計全新的易于用戶使用的尺寸和重量的遙控器產(chǎn)品，而且還可以延長電池使用壽命。堅固的設(shè)計提供了非常出色的防震性能，能夠抵抗高達10,000g的撞擊。 Gyration的新鼠標可以在距個人電腦100英尺的空中無線控制個人電腦，而無需放置鼠標桌面。因為能夠?qū)θ耸值倪\動做出精準可靠的反應(yīng)，新鼠標幾乎可以在任何地方，包括像在出租車或飛機上的狹窄空間內(nèi)，準確跟蹤定位人手的運動方向或位置。 Gyration的運動感應(yīng)式音樂遙控器帶有一個液晶顯示器，不用打開電視機或個人電腦的顯示器，就能控制家中所有的數(shù)字娛樂設(shè)備。動作控制和手勢命令技術(shù)讓消費者只要抖一下手腕就能瀏覽、選擇和播放媒體文件。 “通過在消費電子產(chǎn)品內(nèi)實現(xiàn)直觀的人機互動界面，MEMS動作傳感器讓用戶獲得了全新的使用體驗，”ST的MEMS產(chǎn)品部總經(jīng)理Benedetto Vigna表示，“通過與運動感應(yīng)控制器行業(yè)的領(lǐng)導(dǎo)者合作，ST的MEMS產(chǎn)品為消費者帶來了前所未有的操作簡易性和自由，他們可以隨心所欲地控制個人電腦或家庭媒體中心?！?“我們最近推出的UltraSense技術(shù)為消費者帶來了市場上最靈活的響應(yīng)最快的空中鼠標功能

與因特網(wǎng)相似，全球定位系統(tǒng)(GPS)衛(wèi)星導(dǎo)航正成為人們?nèi)粘Ｉ罡鱾€方面都離不開的一項泛在技術(shù)。在生死危急關(guān)頭，GPS不僅可以使緊急救護車發(fā)現(xiàn)最快的響應(yīng)路線路徑；而且GPS可以使海上考古學(xué)家直奔研究船只目標搜尋船只殘骸；此外，GPS還可以引導(dǎo)農(nóng)場主確定在哪里安置設(shè)備，從而確保其莊稼種植量達到最大。作為全球一流的高性能半導(dǎo)體供應(yīng)商，美國模擬器件公司（Analog Devices, Inc.，紐約證券交易所代碼: ADI）推出一種新的慣性傳感方案，該方案可以為卡車車隊、農(nóng)業(yè)裝備、商用飛機與小型飛機、艦艇、坦克以及其他依靠 GPS衛(wèi)星導(dǎo)航保持精確位置信息的交通工具中的GPS信號損失或感應(yīng)信號奇異性進行補償。 由于采用ADI公司的iMEMS®運動信號處理技術(shù)™, ADIS16355慣性測量裝置(IMU)允許工業(yè)設(shè)計人員首次在系統(tǒng)中使用高級運動分析與導(dǎo)航航跡推算功能，因為以前這個功能主要用于軍事、宇航以及其他高端應(yīng)用，而且其成本僅為軍事等高端應(yīng)用傳感器成本的1/10。 通過探測線性加速度與角運動的細微變化，ADIS16355提供航跡推算，允許車輛等交通工具保持航跡，直到丟失的GPS信號得以恢復(fù)。除了導(dǎo)航，ADIS16355還可以用于高度敏感的機器人與其他運動控制設(shè)備，其慣性測量裝置有助于確保精確的動作可以準確地重復(fù)數(shù)千次。例如，ADIS16355可以使航空相機在拍攝運動畫面時保持穩(wěn)定，在工廠自動化中可以控制機器人的手臂，還可以確保假肢的穩(wěn)定性。 ADIS16355可以很容易地與工業(yè)系統(tǒng)設(shè)計融為一體，通過精確的運動分析與控制，提高系統(tǒng)性能，并使設(shè)計人員的研制時間縮短長達

MTBSolutions公司日前宣布，該公司將與馬來西亞傳感器制造商Mems Technology Berhad合作，向北美客戶提供基于MEMS產(chǎn)品的制造服務(wù)。 MTBSolutions公司將為MemsTech公司的晶圓和封裝廠提供設(shè)計、工程、應(yīng)用和市場支持服務(wù)，MemsTech公司具有0.6微米標準芯片CMOS微機械的制造能力。 MemsTech和MTBSolutions可提供廣泛的以MEMS為基礎(chǔ)的應(yīng)用，包括壓力傳感器、硅微型麥克風(fēng)(silicon microphone)、熱電堆陣列(thermopile array)和用于熱感攝影機(thermal camera)的低G加速儀(low-G accelerometer)。

              近年來，從半導(dǎo)體集成電路(IC)技術(shù)發(fā)展而來的MEMS(微電子機械系統(tǒng))技術(shù)日漸成熟。利用這一技術(shù)可以制作各種性能敏感的力學(xué)量、磁學(xué)量、熱學(xué)量、化學(xué)量和微生物的微型傳感器，這些傳感器的體積和能耗小，可實現(xiàn)許多全新的功能，便于大批量和高精度生產(chǎn)，單件成本低，易構(gòu)成大規(guī)模和多功能陣列，這些特點使得它們非常適合于汽車方面的應(yīng)用。 MEMS將成為汽車傳感器的主流技術(shù) 20世紀80年代微型加速度傳感器開始用于汽車安全氣囊，它們是到目前為止大量生產(chǎn)的、并在汽車中得到廣泛應(yīng)用的微型傳感器。然而微型傳感器的大規(guī)模應(yīng)用勢必將不限于發(fā)動機燃燒控制和安全氣囊，在未來5年～7年內(nèi)包括發(fā)動機運行管理、ABS、車輛動力學(xué)控制、自適應(yīng)導(dǎo)航、車輛行駛安全系統(tǒng)在內(nèi)的應(yīng)用將為MEMS技術(shù)提供廣闊的市場。據(jù)報道，到2005年汽車傳感器的市場將達到84.5億美元。速度和位置傳感器、氧傳感器、壓力傳感器、溫度傳感器等需求量將更大。 現(xiàn)代汽車發(fā)動機的電子控制系統(tǒng)，一直被認為是MEMS技術(shù)在汽車中的主要應(yīng)用領(lǐng)域之一。Delco、飛思卡爾和博世公司生產(chǎn)了數(shù)以百萬計的多路壓力傳感器。這些器件測量出的多路進氣壓力可以用來計算空氣/燃料比。除了多路壓力和質(zhì)量流量參數(shù)外，發(fā)動機控制器還需要獲取大氣壓力參數(shù)，以便根據(jù)推算出的海拔高度信息確定合理的空氣/燃油比。MEMS技術(shù)將在這些應(yīng)用中發(fā)揮越來越重要的作用。在廢氣循環(huán)(EGR)系統(tǒng)中，陶瓷電容式壓

功率放大器在現(xiàn)代電子領(lǐng)域起著至關(guān)重要的作用，其應(yīng)用廣泛涵蓋了各個領(lǐng)域，從通信系統(tǒng)到工業(yè)控制、醫(yī)療設(shè)備、汽車電子等領(lǐng)域均有著不可替代的地位。而MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems）微機電傳感器作為一種集成了微結(jié)構(gòu)和電路功能的微型器件，也是近年來快速發(fā)展并被廣泛運用的技術(shù)。現(xiàn)在讓我們來看看功率放大器在各個領(lǐng)域中如何與mems傳感器結(jié)合應(yīng)用的案例。1. 通信領(lǐng)域：在移動通信基站中，CY2304NZZXC-1功率放大器通常用于增強射頻信號強度，以確保信號覆蓋范圍和數(shù)據(jù)傳輸質(zhì)量。mems傳感器則可用于監(jiān)測基站結(jié)構(gòu)的振動、溫度等環(huán)境參數(shù)，實現(xiàn)遠程監(jiān)控和故障診斷。2. 汽車電子領(lǐng)域：在汽車中，功率放大器常用于音頻放大及駕駛控制系統(tǒng)中。結(jié)合mems傳感器，可實現(xiàn)車輛穩(wěn)定性控制、碰撞檢測等功能，提升行車安全性。3. 醫(yī)療設(shè)備領(lǐng)域：在醫(yī)療影像設(shè)備中，功率放大器被用于控制及放大信號，保證影像質(zhì)量準確。mems傳感器可用于監(jiān)測患者生理參數(shù)，如心率、血壓等，輔助臨床診斷和治療過程。4. 工業(yè)控制領(lǐng)域：在工業(yè)自動化領(lǐng)域，功率放大器可用于電力驅(qū)動系統(tǒng)、機器人控制等方面。結(jié)合mems傳感器，可實現(xiàn)精準的位置、速度控制，提高生產(chǎn)效率和質(zhì)量。總體而言，功率放大器與mems傳感器結(jié)合應(yīng)用在各個領(lǐng)域展現(xiàn)出了巨大的潛力，為現(xiàn)代科技發(fā)展帶來了更多的可能性和便利性。隨著技術(shù)不斷進步，相信它們的應(yīng)用范圍還將不斷擴展和深化。

mems傳感器（Micro-Electro-Mechanical Systems）是一種微型尺寸的傳感器，融合了微電子技術(shù)、微機械技術(shù)和傳感器技術(shù)。它能夠在微米級別上制造，具有小巧、智能和低能耗的特點。mems傳感器已經(jīng)廣泛應(yīng)用于各個領(lǐng)域，如移動設(shè)備、汽車、醫(yī)療、工業(yè)自動化等。本文將探討mems傳感器的工作原理、應(yīng)用領(lǐng)域以及未來發(fā)展趨勢。一、工作原理mems傳感器利用微機械結(jié)構(gòu)和微電子技術(shù)制造出微小而靈敏的傳感器元件。其工作原理主要基于物理量與微機械結(jié)構(gòu)的相互作用。常見的mems傳感器包括加速度計、陀螺儀、DS1302S壓力傳感器、溫度傳感器等。1、加速度計加速度計是一種測量物體加速度的傳感器。它通常由一個質(zhì)量塊和一些微小的彈簧組成。當(dāng)物體受到加速度時，質(zhì)量塊會受到力的作用而移動，微小的彈簧會產(chǎn)生相應(yīng)的變形。通過測量質(zhì)量塊的運動或彈簧的變形，可以得到物體的加速度信息。2、陀螺儀陀螺儀是一種測量角速度的傳感器。它通常由一個旋轉(zhuǎn)的質(zhì)量塊和一些微小的電極組成。當(dāng)物體發(fā)生旋轉(zhuǎn)時，旋轉(zhuǎn)的質(zhì)量塊會受到離心力的作用而發(fā)生偏移，微小的電極會記錄下這個偏移的變化。通過測量電極的信號，可以得到物體的角速度信息。3、壓力傳感器壓力傳感器是一種測量壓力的傳感器。它通常由一個彈性薄膜和一些微小的電極組成。當(dāng)物體受到壓力時，彈性薄膜會發(fā)生形變，微小的電極會記錄下這個形變的變化。通過測量電極的信號，可以得到物體受到的壓力信息。4、溫度傳感器溫度傳感器是一種測量溫度的傳感器。它通常由一個熱敏電阻和一些微小的電極組成。當(dāng)物體受到溫度變化時，熱敏電阻的電阻值會發(fā)生變化，微小的電極會測量這個電阻值的變化。通過測量電

MEMS（微機電系統(tǒng)）傳感器是智能家居中的關(guān)鍵技術(shù)之一。它們是一種微小而高度集成的傳感器，能夠在智能家居系統(tǒng)中提供各種實時數(shù)據(jù)，從而實現(xiàn)智能化的控制和管理。mems傳感器在智能家居中的應(yīng)用非常廣泛。以下是一些常見的mems傳感器及其在智能家居中的應(yīng)用：1、加速度傳感器：EP1C6F256I7N加速度傳感器可以檢測物體的加速度和傾斜角度。在智能家居中，它可以用于檢測人體活動、測量步數(shù)和睡眠質(zhì)量等。例如，智能手環(huán)和智能手表中常常使用加速度傳感器來監(jiān)測用戶的運動和睡眠情況。2、陀螺儀傳感器：陀螺儀傳感器可以測量物體的旋轉(zhuǎn)速度和方向。在智能家居中，它可以用于檢測設(shè)備的姿態(tài)和方向，從而實現(xiàn)智能控制。例如，智能燈泡可以根據(jù)用戶的手勢調(diào)整亮度和顏色，這就需要使用陀螺儀傳感器來檢測用戶的手勢。3、溫度傳感器：溫度傳感器可以測量環(huán)境的溫度。在智能家居中，它可以用于控制空調(diào)、供暖系統(tǒng)和溫度調(diào)節(jié)器等。通過將溫度傳感器與智能家居系統(tǒng)相連，用戶可以遠程監(jiān)控和調(diào)節(jié)室內(nèi)溫度，實現(xiàn)能源的節(jié)約和舒適度的提高。4、濕度傳感器：濕度傳感器可以測量環(huán)境的濕度。在智能家居中，它可以用于控制加濕器、除濕器和空氣凈化器等。通過將濕度傳感器與智能家居系統(tǒng)相連，用戶可以實時監(jiān)測室內(nèi)濕度，并根據(jù)需要進行調(diào)節(jié)，提供更加舒適和健康的居住環(huán)境。5、光照傳感器：光照傳感器可以測量環(huán)境的光照強度。在智能家居中，它可以用于控制燈光和窗簾等。通過將光照傳感器與智能家居系統(tǒng)相連，用戶可以根據(jù)室內(nèi)和室外的光照情況自動調(diào)節(jié)燈光和窗簾，提供更加舒適和節(jié)能的居住環(huán)境。以上只是一些常見的mems傳感器及其在智能家居中的應(yīng)用，實際上，mems傳感器在智能家

近年來，中國汽車銷量持續(xù)增長，使得汽車行業(yè)成為中國經(jīng)濟增長的重要推動力。隨著汽車產(chǎn)量的增加，對汽車安全、舒適性和智能化的需求也越來越高。MEMS（微機電系統(tǒng)）傳感器作為汽車智能化的核心技術(shù)之一，起到了至關(guān)重要的作用。本文將探討中國mems傳感器在汽車行業(yè)中的應(yīng)用和發(fā)展趨勢，并介紹相關(guān)研發(fā)進展。一、mems傳感器在汽車行業(yè)中的應(yīng)用1、汽車安全系統(tǒng)：mems傳感器可以用于汽車的安全系統(tǒng)，如車身穩(wěn)定控制系統(tǒng)（ESP）、制動系統(tǒng)、氣囊系統(tǒng)等。通過測量車輛的加速度、角度和壓力等參數(shù)，mems傳感器可以及時檢測到車輛的異常情況，并觸發(fā)相應(yīng)的安全措施。例如，ESP系統(tǒng)可以通過檢測車輛的側(cè)傾角來判斷車輛是否失控，并通過調(diào)整車輛的剎車力分配來保持車輛的穩(wěn)定。2、汽車舒適性系統(tǒng)：mems傳感器可以用于汽車的舒適性系統(tǒng)，如懸掛系統(tǒng)、空調(diào)系統(tǒng)和座椅調(diào)節(jié)系統(tǒng)等。通過測量車輛的振動、溫度和壓力等參數(shù)，mems傳感器可以實時監(jiān)測車輛的狀態(tài)，并根據(jù)駕駛者的需求進行相應(yīng)的調(diào)節(jié)。例如，懸掛系統(tǒng)可以通過檢測車輛的垂直加速度來調(diào)節(jié)懸掛硬度，從而提高車輛的乘坐舒適性。3、汽車智能化系統(tǒng)：隨著人工智能和互聯(lián)網(wǎng)技術(shù)ADV7125KSTZ50的發(fā)展，汽車智能化已成為汽車行業(yè)的發(fā)展趨勢。mems傳感器可以用于汽車智能化系統(tǒng)，如自動駕駛系統(tǒng)、智能導(dǎo)航系統(tǒng)和車載娛樂系統(tǒng)等。通過測量車輛的位置、速度和姿態(tài)等參數(shù)，mems傳感器可以實時感知車輛的環(huán)境，并根據(jù)駕駛者的需求進行相應(yīng)的控制。例如，自動駕駛系統(tǒng)可以通過檢測車輛的速度和距離來自動控制車輛的行駛。二、中國mems傳感器在汽車行業(yè)中的發(fā)展趨勢1、技術(shù)創(chuàng)新：隨著汽車行業(yè)的快速發(fā)展，對

TPA3113D2PWPR高壓放大器是一種能夠?qū)⒌碗妷盒盘柗糯鬄楦唠妷盒盘柕碾娮釉O(shè)備。它在MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems）傳感器中具有廣泛的應(yīng)用。mems傳感器是一種基于微米尺度的機械結(jié)構(gòu)和電子器件集成的傳感器，能夠測量和感知物理量、化學(xué)量或生物量等。高壓放大器在mems傳感器中的應(yīng)用主要包括以下幾個方面：1、加速度傳感器：加速度傳感器是一種用于測量物體加速度的傳感器。在MEMS加速度傳感器中，高壓放大器可以用于放大傳感器輸出的微弱信號。通過放大信號，可以提高傳感器的靈敏度和測量范圍。2、壓力傳感器：壓力傳感器是一種用于測量氣體或液體壓力的傳感器。在MEMS壓力傳感器中，高壓放大器可以用于放大傳感器輸出的微弱信號。通過放大信號，可以提高傳感器的靈敏度和測量范圍。3、溫度傳感器：溫度傳感器是一種用于測量環(huán)境或物體溫度的傳感器。在MEMS溫度傳感器中，高壓放大器可以用于放大傳感器輸出的微弱信號。通過放大信號，可以提高傳感器的靈敏度和測量范圍。4、慣性導(dǎo)航系統(tǒng)：慣性導(dǎo)航系統(tǒng)是一種通過測量物體的加速度和角速度來確定其位置和姿態(tài)的系統(tǒng)。在MEMS慣性導(dǎo)航系統(tǒng)中，高壓放大器可以用于放大傳感器輸出的微弱信號。通過放大信號，可以提高系統(tǒng)的精度和穩(wěn)定性。5、生物傳感器：生物傳感器是一種用于檢測生物分子或細胞的傳感器。在MEMS生物傳感器中，高壓放大器可以用于放大傳感器輸出的微弱信號。通過放大信號，可以提高傳感器的檢測靈敏度和準確性?？傊邏悍糯笃髟?span style=" color:green;">mems傳感器中的應(yīng)用非常廣泛，可以提高傳感器的性能和功能。通過放大傳感器輸出的微弱信號，可以提高傳感器

近年來，一些西方國家，特別是美國，制裁和壓制了中國的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)、精密儀器制造和其他產(chǎn)業(yè)，并不斷將中國的一些高科技企業(yè)和機構(gòu)納入其中“實體清單”以維護其利益為名，建立各種控制手段，使芯片成為制約國家創(chuàng)新發(fā)展的制約因素“卡脖子”同時，芯片短缺也抑制了核心基本部件（元器件BQ26231PW）的發(fā)展，包括高端mems傳感器的設(shè)計、生產(chǎn)和應(yīng)用都有很大的影響。特別是進入2022年后，全球地理沖突加劇，全球新冠肺炎疫情反復(fù)疊加。由于政策限制、運輸不暢等因素，產(chǎn)業(yè)供應(yīng)鏈與國計民生有關(guān)，具有重大國防意義。mems傳感器難以形成產(chǎn)業(yè)集群優(yōu)勢，但過度依賴國外進口芯片和傳感器已成為中國從工業(yè)大國向工業(yè)強國轉(zhuǎn)型的潛在威脅。根據(jù)中國信息技術(shù)學(xué)院和高端芯片聯(lián)盟發(fā)布的傳感器產(chǎn)業(yè)地圖，傳感器產(chǎn)業(yè)鏈分為研發(fā)、設(shè)計、制造、包裝、測試、軟件、芯片和解決方案、系統(tǒng)和應(yīng)用，各環(huán)節(jié)的技術(shù)障礙相對較高，生產(chǎn)加工復(fù)雜，要求精細。一般來說，傳感器行業(yè)投資大、周期長、效果慢、失敗風(fēng)險高，但從國家未來發(fā)展的角度來看，必須咀嚼高端傳感器的定位“硬骨頭”。高端傳感器不僅是未來工業(yè)4.0智能制造的支撐技術(shù)，也是飛機、機器人、智能網(wǎng)絡(luò)汽車等高端設(shè)備的核心技術(shù)。目前，我國國內(nèi)傳感器品種少、質(zhì)量差、制造技術(shù)落后、缺乏先進的核心制造技術(shù)、科研成果轉(zhuǎn)化率低、高端光電傳感器、壓力傳感器、視覺傳感器、光纖傳感器定位率低，已成為制約我國制造業(yè)轉(zhuǎn)型升級的主要障礙之一。根據(jù)《中國傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展藍皮書》，中國傳感器芯片進口率超過90%，部分高端mems傳感器行業(yè)進口占國內(nèi)行業(yè)的98%以上，甚至100%以上。一旦中國傳感器行業(yè)受到美國對俄羅斯的類似制裁，90%以

mems傳感器被認為是汽車不可或缺的組成部分。mems傳感器可以提高汽車的安全性根據(jù)傳感器所在的控制系統(tǒng)，mems傳感器可以分為發(fā)動機控制傳感器MEMS加速度傳感器MEMS角速度傳感器(陀螺儀)角速度傳感器(陀螺儀)主要用于控制車輛姿態(tài)、在翻車報警和汽車導(dǎo)航中，汽車導(dǎo)航需要使用角速度傳感器和車輪轉(zhuǎn)速傳感器，并在汽車電子系統(tǒng)中使用電子地圖和GPS相互結(jié)合。mems傳感器被認為是汽車不可或缺的組成部分。它在提高汽車性能和駕駛體驗方面發(fā)揮著重要作用。根據(jù)研究機構(gòu)的數(shù)據(jù)，平均每輛車包含10個傳感器，大約有20到30輛高級車mems傳感器。寶馬、奧迪、奔馳車的高端車型通常有40多個傳感器，高端車型使用的AD5532ABC-1傳感器越多，對傳感器質(zhì)量的要求就越高。mems傳感器可以提高汽車的安全性、靈敏度和降低成本，其核心應(yīng)用包括車輛的防抱死系統(tǒng)、車身穩(wěn)定系統(tǒng)、電控懸掛、電動剎車、胎壓監(jiān)控、引擎防抖、車輛傾角測量等。根據(jù)傳感器所在的控制系統(tǒng)，mems傳感器可以分為發(fā)動機控制傳感器、底盤控制傳感器、車身控制傳感器和電氣設(shè)備傳感器四類；根據(jù)傳感器的測量原理，mems傳感器可分為機械量傳感器、磁學(xué)量傳感器、熱量傳感器、化學(xué)量傳感器和微生物傳感器這五種類型的。下面為大家介紹三個最重要的傳感器。1.MEMS壓力傳感器MEMS壓力傳感器主要用于汽車氣缸的負壓、吸氣壓，渦輪發(fā)動機的升壓比、檢測油壓等。檢測氣缸壓力是優(yōu)化汽車發(fā)動機性能的基礎(chǔ)。由于氣缸內(nèi)溫度較高，傳統(tǒng)上使用壓電傳感器或光纖傳感器進行測量。雖然檢測效果好，但成本高。目前，共振硅壓力傳感器已批量生產(chǎn)，可在高溫環(huán)境下工作，并能保持較高的測試精度。

mems傳感器是微機電系統(tǒng)（Micro-electroMechanicalSystems），是指集精密機械系統(tǒng)與微電子線路技術(shù)于一體的工程設(shè)計，其規(guī)格一般在μm數(shù)量級。無人機市場如此大變化的關(guān)鍵是高性能MEMS發(fā)生傳感器。mems傳感器是微機電系統(tǒng)（Micro-electroMechanicalSystems），是指集精密機械系統(tǒng)與微電子線路技術(shù)于一體的工程設(shè)計，其規(guī)格一般在μm數(shù)量級。包裝技術(shù)是mems傳感器成功的關(guān)鍵，其技術(shù)包括SIP(系統(tǒng)級封裝)WLP(晶圓級封裝)，三維硅破孔)（TSV）根據(jù)三維堆疊技術(shù)，將小型化后傳感器的機械部件與其他微電子部件集成，最后根據(jù)不同的應(yīng)用領(lǐng)域采用不同的包裝類型，最后進行組裝。一，優(yōu)點與傳統(tǒng)的機械傳感器相比，MEMS具有巨大的競爭優(yōu)勢：1.mems傳感器具有體積小、重量輕、功耗低的特點。其內(nèi)部結(jié)構(gòu)可達μm甚至納米量級。同時，其內(nèi)部機械部件具有慣性小、諧振頻率高、反應(yīng)時間短等優(yōu)點。2.MEMS批量制造、封裝、檢測可通過硅微生產(chǎn)工藝進行。以單獨5mm*5mm尺寸的MEMS以設(shè)備為例，在一個16英尺的硅片晶體上可以同時切割出大約4000個芯片，可以大大降低設(shè)備的產(chǎn)品成本。YoleDevelopment單獨研究MEMS平均成本為0.1-1美元之間。3.隨著MEMS技術(shù)和技術(shù)的發(fā)展現(xiàn)在側(cè)重于分離MEMS更多的功能融入芯片，完成更高的集成度。例如慣性傳感器IMU，從以前的分立慣性傳感器到現(xiàn)在MPU3軸集成了6050芯片MEMS陀螺儀，3軸MEMS加速度計和可擴展的數(shù)字運動CpuDMP。未來，系統(tǒng)級的高度集成將是MEMS未來互聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用的關(guān)鍵承重方式。4.

隨著傳感器的發(fā)展，小型化、智能化、集成化已成為升級的必由之路。今天，讓我們來介紹一下傳感器家族mini型產(chǎn)品——mems傳感器。MEMS全稱為微型電子機械系統(tǒng)(Micro-ElectroMechanicalSystem)，微機電系統(tǒng)是指將微機構(gòu)、微傳感器BF256C、微執(zhí)行器、信號處理和控制電路、接口、通信和電源集成到一個或多個芯片上的微設(shè)備或系統(tǒng)。mems傳感器是利用微電子和微機械加工技術(shù)制造的新型傳感器。MEMS它是一種基于傳統(tǒng)半導(dǎo)體技術(shù)和材料的先進制造技術(shù)。跨學(xué)科現(xiàn)象極為明顯，主要涉及微加工技術(shù)、機械/固體聲波理論、熱流理論、電子、材料、物理、化學(xué)、生物學(xué)、醫(yī)學(xué)等。經(jīng)過40多年的發(fā)展，它已成為世界上最重要的科技領(lǐng)域之一。一、加工工藝MEMS該技術(shù)基于相當(dāng)成熟的微電子技術(shù)、集成電路技術(shù)及其加工工藝。它與傳統(tǒng)的微電子技術(shù)相結(jié)合。IC該工藝有許多相似之處，如光刻、薄膜沉積、混合、腐蝕、化學(xué)機械拋光工藝等，但一些復(fù)雜的微結(jié)構(gòu)很難使用IC實現(xiàn)工藝，必須采用微加工技術(shù)制造。微加工技術(shù)包括硅體微加工技術(shù)、表面微加工技術(shù)和特殊微加工技術(shù)。體加工技術(shù)是指沿硅襯底厚度方向腐蝕硅襯底的過程，包括濕法腐蝕和干法腐蝕，是實現(xiàn)三維結(jié)構(gòu)的重要途徑。表面微加工是通過在犧牲膜上沉積結(jié)構(gòu)膜，去除犧牲層釋放結(jié)構(gòu)層，實現(xiàn)可移動結(jié)構(gòu)的膜沉積、光刻和腐蝕過程。除上述兩種微加工技術(shù)外，MEMS制造也廣泛采用多種特殊加工方法，其中常見的方法包括鍵合，LIGA，電鍍、軟光刻、微模鑄、微立體光刻、微電火花加工等。二、應(yīng)用材料硅基材料:大部分集成電路和大部分集成電路MEMS硅是原料(Si)，這個神奇的VI家族元素可以從二氧化

張晨亮說：敏芯股份是中國第一家MEMS芯片股份，也是中國第一家進入該行業(yè)的公司，但客觀事實是，國內(nèi)mems傳感器行業(yè)起步較晚。同時，敏芯有四家子公司，其中全資子公司蘇州德斯倍主要從事mems傳感器的封裝和測試；長期規(guī)劃mems傳感器。敏芯成立于2007年，B08B-XADSS-N是中國最早開展mems傳感器研究的企業(yè)之一，對產(chǎn)業(yè)發(fā)展有了更深的了解。根據(jù)賽迪研究院發(fā)布的相關(guān)統(tǒng)計，2020年中國MEMS市場規(guī)模達到705.4億元，較2019年增長107.6億元，同比增長18%。預(yù)計2021年中國MEMS市場規(guī)模將達到862.13億元，同比增長22.2%。張晨亮說：敏芯股份是中國第一家MEMS芯片股份，也是中國第一家進入該行業(yè)的公司，但客觀事實是，國內(nèi)mems傳感器行業(yè)起步較晚。敏芯股份經(jīng)歷了國內(nèi)mems傳感器的全過程，從不成熟到逐漸成熟。在最初的幾年里，國內(nèi)同行很少。他特別感慨地說：事實上，在國內(nèi)MEMS產(chǎn)業(yè)鏈的培育中，敏芯作為一家小公司，利用了一個大產(chǎn)業(yè)。自發(fā)展以來，敏芯股份已經(jīng)覆蓋了六大產(chǎn)品生態(tài)系統(tǒng)，并完成了mems傳感器從設(shè)計到制造的垂直集成。在晶圓OEM方面，敏芯股份與華潤上華和中芯國際有著深厚的業(yè)務(wù)關(guān)系；在芯片包裝方面，華天科技是敏芯股份的早期合作伙伴。同時，敏芯有四家子公司，其中全資子公司蘇州德斯倍主要從事mems傳感器的封裝和測試；全資子公司蘇州新一偉從事ASIC芯片的研發(fā)和設(shè)計；昆山靈科傳感器全資子公司主要產(chǎn)品為傳感器模塊；控股公司中宏偉宇以智能傳感器為核心，打造智能物聯(lián)網(wǎng)解決方案。此外，據(jù)張晨良介紹，公司還間接參與了蘇州園芯MEMS試生產(chǎn)線的建設(shè)，進一步提高了其在

隨著新一輪國際改革和產(chǎn)業(yè)鏈轉(zhuǎn)型的蓬勃發(fā)展，mems傳感器已廣泛應(yīng)用于工業(yè)物聯(lián)網(wǎng)、無人駕駛、生物醫(yī)療、5G等多個行業(yè)，發(fā)展前景廣闊。隨著信息技術(shù)、人工智能技術(shù)、物聯(lián)網(wǎng)技術(shù)、精密機械制造、5G通信等行業(yè)發(fā)展趨勢的日益迫切，mems傳感器技術(shù)產(chǎn)業(yè)鏈的進一步發(fā)展趨勢已成為當(dāng)今日常生活中的關(guān)鍵任務(wù)。最近，素有“珠城”之美譽的安徽蚌埠，因一次交流會的舉行而光彩照人，異彩紛呈。最近，以凝‘芯’合力，創(chuàng)‘智’未來為主題的第四屆我國mems傳感器技術(shù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展規(guī)劃交流會暨企業(yè)家論壇在蚌埠市舉行。與會權(quán)威專家反響強烈，加快新基礎(chǔ)設(shè)施建設(shè)，加快新一代信息技術(shù)建設(shè)，為mems傳感器技術(shù)帶來巨大機遇。mems傳感器技術(shù)進入發(fā)展趨勢“春天”。如今，隨著新一輪國際改革和產(chǎn)業(yè)鏈轉(zhuǎn)型的蓬勃發(fā)展，mems傳感器已廣泛應(yīng)用于工業(yè)物聯(lián)網(wǎng)、無人駕駛、生物醫(yī)療、5G等多個行業(yè)，發(fā)展前景廣闊。中國科學(xué)院院士工程院院士、清華副校尤政在視頻演講中表示，集成電路芯片產(chǎn)業(yè)鏈是支撐中國社會經(jīng)濟發(fā)展趨勢和保障國防安全的戰(zhàn)略、基礎(chǔ)和戰(zhàn)略重點產(chǎn)業(yè)鏈。發(fā)展前景廣闊，科技創(chuàng)新需求迫切。中國非常重視集成電路芯片產(chǎn)業(yè)鏈的發(fā)展趨勢。以MEMS為關(guān)鍵的AD8542ARZ-REEL7傳感器技術(shù)是現(xiàn)代科技的前沿技術(shù)，也是新一代信息技術(shù)的支撐之一。尤政顯示，現(xiàn)階段，我國MEMS產(chǎn)業(yè)鏈已步入快速發(fā)展的道路，擁有一批敢于創(chuàng)新和實踐活動的技術(shù)專家和自主創(chuàng)新精英，不斷涌現(xiàn)出一批敢于承擔(dān)責(zé)任、有所作為的大牌明星企業(yè)。但是，大家也要清楚地了解現(xiàn)階段我國與資本主義國家的區(qū)別。當(dāng)前，我國中低檔傳感器自動化技術(shù)水平較低，高檔傳感器銷售市場絕大多依賴進口，缺乏科技創(chuàng)新的關(guān)鍵技術(shù)

mems傳感器也是指微型機電系統(tǒng)，是電子設(shè)備信息技術(shù)大部分發(fā)展趨勢形成的多學(xué)科交叉的尖端研究領(lǐng)域。mems傳感器是利用電子信息技術(shù)和微機械設(shè)備生產(chǎn)技術(shù)生產(chǎn)加工的新型傳感器。微型手機陀螺儀是角度速度傳感器，是汽車導(dǎo)航的GPS信號賠償和汽車底盤的全自動控制系統(tǒng)，重要的是振動式、轉(zhuǎn)子式等種類。mems傳感器也是指微型機電系統(tǒng)，是電子設(shè)備信息技術(shù)大部分發(fā)展趨勢形成的多學(xué)科交叉的尖端研究領(lǐng)域。經(jīng)過40多年的發(fā)展趨勢，它已經(jīng)成為世界上最受關(guān)注的主要尖端技術(shù)之一。它涉及電子元器件、機械設(shè)備、原材料、物理、分析化學(xué)、生物、醫(yī)學(xué)等各種課程內(nèi)容和技術(shù)，具有廣闊的應(yīng)用前景。截至2010年，世界上約有600家公司參與了mems的產(chǎn)品開發(fā)和生產(chǎn)加工，產(chǎn)品開發(fā)了包括中小型水位傳感器、AD734AQ加速度傳感器、微噴墨打印機打印機噴嘴、數(shù)據(jù)信息微鏡顯示器在內(nèi)的數(shù)百種產(chǎn)品，其中ms傳感器占有非常大的份額。mems傳感器是利用電子信息技術(shù)和微機械設(shè)備生產(chǎn)技術(shù)生產(chǎn)加工的新型傳感器。與傳統(tǒng)傳感器相比，它具有體積小、凈重輕、成本低、功能消耗低、可靠性高、適合大量生產(chǎn)加工、一體化和智能化的特點。此外，微米量級的特性規(guī)格型號促進了傳統(tǒng)機械設(shè)備傳感器無法實現(xiàn)的效果。mems傳感器的基本原理。中小型電子元器件機械設(shè)備系統(tǒng)，采用傳統(tǒng)的半導(dǎo)體器件制造工藝和原材料，集微傳感器、微電動執(zhí)行器、微機械組織、數(shù)字信號處理和控制電路、特性非凡的電子元器件、插座、通訊和開關(guān)電源電路于一體的中小型電子器件或系統(tǒng)。它具有小容量，低成本，集成等特點。mems傳感器的關(guān)鍵應(yīng)用領(lǐng)域。一是診療行業(yè)。mems傳感器可用于微創(chuàng)手術(shù)胎兒心跳檢測，檢測胎兒心率

MEMS以其微型化、多樣化、精確測量覆蓋面廣等優(yōu)點，逐漸成為汽車電子產(chǎn)品的流行傳感器。mems傳感器是一個新的領(lǐng)域。隨著無人駕駛的發(fā)展趨勢，MEMS已經(jīng)成為汽車傳感器的新風(fēng)系統(tǒng)。在最近舉辦的MWC2021主題活動中，意大利半導(dǎo)體(以下簡稱ST)詳細介紹了mems傳感器的動態(tài)性和合理布局。近年來，汽車網(wǎng)絡(luò)平臺、無人駕駛、汽車智能系統(tǒng)等成為汽車制造業(yè)的熱門話題，隨著人們對汽車智能系統(tǒng)、安全性的追求越來越突出，對汽車電子產(chǎn)品的市場需求不斷提高，而對汽車電子產(chǎn)品起主導(dǎo)作用的元件就是傳感器。MEMS以其微型化、多樣化、精確測量覆蓋面廣等優(yōu)點，逐漸成為汽車電子產(chǎn)品的流行傳感器。MEMS是MicroElectroMechanicalSystem的簡稱，通稱微型機電系統(tǒng)，是根據(jù)作用規(guī)定在集成ic上集成微型電路和微型機械設(shè)備的系統(tǒng)軟件。mems傳感器是由微型電子技術(shù)和微型機械設(shè)備技術(shù)人員的技術(shù)加工技術(shù)生產(chǎn)的微型傳感器，種類繁多，是應(yīng)用最廣泛的MEMS產(chǎn)品，根據(jù)微型傳感器元件和傳輸模塊轉(zhuǎn)換輸入的數(shù)據(jù)信號，導(dǎo)出另一種可檢測的數(shù)據(jù)信號。與傳統(tǒng)工藝生產(chǎn)的傳感器相比，它具有體積小、重量輕、成本低、功能損耗低、穩(wěn)定性高、適合大規(guī)模生產(chǎn)制造、易于集成和完成智能系統(tǒng)的特點。mems傳感器是一個新的領(lǐng)域。在中國商業(yè)化不到十年，世界上只有20多年的工業(yè)發(fā)展過程。隨著無人駕駛的發(fā)展趨勢，MEMS已經(jīng)成為汽車傳感器的新風(fēng)系統(tǒng)。STMEMS產(chǎn)業(yè)鏈的合理布局和優(yōu)勢。在最近舉辦的MWC2021主題活動中，意大利半導(dǎo)體(以下簡稱ST)詳細介紹了mems傳感器的動態(tài)性和合理布局。ST模擬、微電氣產(chǎn)品部亞太地區(qū)高級市場部經(jīng)理許永剛

工業(yè)自動化是在工業(yè)生產(chǎn)中廣泛采用自動控制、自動調(diào)整裝置，用以代替人工操縱機器和機器體系進行加工生產(chǎn)的趨勢。隨著智能制造的發(fā)展，人機交互、自動化、智能化應(yīng)用水平不斷提高，對裝備制造的工藝和產(chǎn)品質(zhì)量的要求也越來越高，加之工業(yè)自動化控制產(chǎn)品的應(yīng)用領(lǐng)域不斷拓展，從而拉動了對工業(yè)產(chǎn)品的需求。工業(yè)自動化是一個突出的業(yè)務(wù)，它正朝著一個新的方向邁進。對品種、定制產(chǎn)品和產(chǎn)品差異化的需求不斷增加，使得制造商很難批量生產(chǎn)零部件。但是小批量和批量生產(chǎn)會給組織帶來巨大的成本，企業(yè)可在工業(yè)自動化領(lǐng)域探索新技術(shù)和新機遇，這機遇便是微電子機械系統(tǒng)（MEMS）。繼機電一體化之后，便是微型機電一體化的時代。MEMS體現(xiàn)了一種先進的半導(dǎo)體技術(shù)，它包括單個芯片上的移動元件和電子元件，它致力于將集成電路（IC）制造技術(shù)（如互補金屬氧化物半導(dǎo)體（CMOS）、BiCMOS（雙極結(jié)晶體管和CMOS技術(shù)的集成）與創(chuàng)新的硅微加工444結(jié)合在一起。MEMS技術(shù)提供的可靠性、可擴展性、靈敏度和成本效益高的解決方案為工業(yè)自動化領(lǐng)域提供了大量的MEMS應(yīng)用機會。工業(yè)微型機電一體化時代則是MEMS技術(shù)對工業(yè)機器人尤其有利，因為該技術(shù)可以應(yīng)用于觸覺傳感器、導(dǎo)航或接近傳感器。由于商業(yè)可行性較低的趨勢以及某些非MEMS近距離傳感技術(shù)在工業(yè)領(lǐng)域的根深蒂固，在將MEMS技術(shù)應(yīng)用于制造接近或位置傳感器方面的研究受到限制。然而，MEMS技術(shù)允許開發(fā)或生產(chǎn)成本較低的觸覺傳感器，使機器人能夠獲得感官信息，以便以更通用、自主的方式做出決策和執(zhí)行動作。微型化的趨勢為多傳感器在AD8315ARM機器人、制造過程、過程控制以及生物技術(shù)和生命科學(xué)等領(lǐng)域的應(yīng)用帶來了機

據(jù)介紹，MEMS的全稱是微型電子機械系統(tǒng)（Micro-Electro-MechanicalSystem），是微電路和微機械按功能要求在AD818ARZ芯片上的一種集成，基于光刻、腐蝕等傳統(tǒng)半導(dǎo)體技術(shù)，融入超精密機械加工，并結(jié)合力學(xué)、化學(xué)、光學(xué)等學(xué)科知識和技術(shù)基礎(chǔ)，使得一個毫米或微米級的MEMS具備精確而完整的機械、化學(xué)、光學(xué)等特性結(jié)構(gòu)。MEMS行業(yè)系在集成電路行業(yè)不斷發(fā)展的背景下，傳統(tǒng)集成電路無法持續(xù)地滿足終端應(yīng)用領(lǐng)域日漸變化的需求而成長起來的。隨著微電子學(xué)、微機械學(xué)以及其他基礎(chǔ)自然科學(xué)學(xué)科的相互融合，誕生了以集成電路工藝為基礎(chǔ)，結(jié)合體微加工等技術(shù)打造的新型芯片。汽車電子、消費電子等終端應(yīng)用市場的擴張，使得MEMS應(yīng)用越來越廣泛，產(chǎn)業(yè)規(guī)模日漸擴大，日趨成為集成電路行業(yè)的一個新分支。MEMS的市場規(guī)模隨著MEMS技術(shù)及產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，MEMS在通訊、生物醫(yī)療、工業(yè)科學(xué)、消費電子、汽車電子、導(dǎo)航定位等領(lǐng)域的應(yīng)用日漸普及，MEMS市場在不斷創(chuàng)新中呈現(xiàn)出快速增長的趨勢。2008年以前，汽車電子是MEMS主要應(yīng)用市場；2008年以后，智能手機等終端產(chǎn)品日益涌現(xiàn)并占領(lǐng)MEMS主流市場；在未來，隨著智能化場景的進一步普及，各種新興應(yīng)用領(lǐng)域如物聯(lián)網(wǎng)、可穿戴設(shè)備、智能家居及工業(yè)4.0等將為MEMS提供更廣闊的發(fā)展空間，MEMS產(chǎn)品的使用量預(yù)計將加速增長。根據(jù)全球權(quán)威半導(dǎo)體咨詢機構(gòu)YoleDevelopment的研究，2019年全球MEMS行業(yè)市場規(guī)模為115億美元，考慮到COVID-19疫情影響，2020年MEMS市場規(guī)模將下滑至109億美元，預(yù)計到2025年MEMS市場規(guī)模將增長至177億美元，復(fù)

mems傳感器是采用微電子和微機械加工技術(shù)制造出來的新型傳感器。與傳統(tǒng)的傳感器相比，它具有體積小、重量輕、成本低、功耗低、可靠性高、適于批量化生產(chǎn)、易于集成和實現(xiàn)智能化的特點。同時，在微米量級的特征尺寸使得它可以完成某些傳統(tǒng)機械傳感器所不能實現(xiàn)的功能。

深圳市聯(lián)大實業(yè)有限公司是一家專業(yè)為新型能源產(chǎn)品提供核心電子零件的代理商，既提供包括各類 IGBTs、MOSFET、快速二極管、整流橋、可控硅、碳化硅二極管和場效應(yīng)管和控制IC等關(guān)鍵的半導(dǎo)體器件，也提供薄膜電容器、鋁電解電容器、電流傳感器和濾波器等產(chǎn)品，能為功率變換的各個環(huán)節(jié)提供關(guān)鍵的元器件?！　∥覀儞碛袑I(yè)的銷售工程師團隊，能為客戶提供正確、高效和經(jīng)濟的元器件方案，讓客戶的設(shè)計處于業(yè)界前沿。在通訊電源、UPS、電力電源、變頻器、電焊機、風(fēng)能、太陽能、SVG ……等領(lǐng)域，我們都有成熟和領(lǐng)先的元器件方案，能有效減少工程師挑選原器件的時間，縮短產(chǎn)品開發(fā)的周期。產(chǎn)品眾多、現(xiàn)貨充足是我們的優(yōu)勢之一，無論是跨國企業(yè)還是國內(nèi)廠家，都能得到我們迅速、可靠和專業(yè)的服務(wù)。**：由于型號較多不能在網(wǎng)上一一上傳，如有找不到的請聯(lián)我：**13670166496(小廖）

FeaturesExcellent accuracyHigh stabilityExtremely stable OUTPUT over wide range oftemperature, humidity, and vibrationsOutstanding overload and shock durabilityTemperature Range -40ºC to +125ºCApplicationsAcceleration measurementInclination measurementMotion measurementVibration measurementSCA1000-D01-1SCA1000-D01-6SCA1000-N1000070-1SCA1000-N1000070-6SCA1000-N1000070-PCBSCA100T-D01-PCBSCA100T-D02-PCBSCA100T-D07-1SCA100T-D07-6SCA100T-D07-PCBSCA1020-D06-1SCA1020-D06-6SCA103T-D04-PCBSCA103T-D05-PCBSCA2100-D02-1SCA2100-D02-10SCA2100-D02-PCBSCA2110-D04-1SCA2110-D04-10SCA2120-D06-1SCA2120-D06-10SCA3100-D04 DEMOSCA3100-D04 PWBSCA3100-D04-1SCA3100-D04-10SCA3100-D07-1SCA3100-D07-10SCA610-E2

最近幾年，使用了MEMS技術(shù)的半導(dǎo)體產(chǎn)品的需求及用途大幅增加。MEMS是Micro Electro MECHANICAL Systems的縮寫，硅電路板上由電路和機械可活動結(jié)構(gòu)的三維構(gòu)成。使用此結(jié)構(gòu)可實現(xiàn)將壓力、溫度、加速度這些物理量轉(zhuǎn)換成電氣信號的傳感器，還可實現(xiàn)提供電氣信號使可動結(jié)構(gòu)體像機械一樣運動的所謂執(zhí)行器功能。 MEMS產(chǎn)品早在1980年就已經(jīng)存在了，與使用了CMOS工藝的一般半導(dǎo)體相比，因為晶圓制成非常復(fù)雜，包裝也很耗功夫，使得工程標準化和低成本變得十分困難，所以只應(yīng)用于限定用途。但是，最近確定了批量生產(chǎn)小型、高性能的MEMS產(chǎn)品的技術(shù)，除了汽車發(fā)動機控制、醫(yī)療器械、噴墨打印機這些常用用途，數(shù)碼相機和智能手機這寫 隨身攜帶的電子產(chǎn)品里也使用了很多的MEMS產(chǎn)品。MEMS產(chǎn)品今后將持續(xù)每年10-15%的增長率，并可預(yù)測在2017年的時候?qū)默F(xiàn)在的9200億日元增長到17000億日元。（Yole Development公司預(yù)測） 株式會社村田制作所在2012年1月份收購了芬蘭的MEMS專業(yè)生產(chǎn)商VTI，VTI改名為MURATA ELECTRONICS Oy，成為了村田的一員。Murata Electronics Oy運用了獨特的3D-MEMS（三維MEMS）技術(shù)向市場提供了高性能以及高可靠性的mems傳感器。 村田制作所的mems傳感器 所有東西的運動都是X、Y、Z軸平行的運動和圍繞軸的旋轉(zhuǎn)運動，共表現(xiàn)為6個運動組合。 村田制作所制作了平行運動（平移加速度）傳感的加速度傳感器、旋轉(zhuǎn)運動（角速度）傳感的陀螺儀產(chǎn)品系列，應(yīng)用于依賴高精度運動傳感和高可靠性的特征的汽車